箱體1一側(cè)通過重型鉸鏈8鉸接有機(jī)械式密封門12，所述機(jī)械式密封門12設(shè)置有手柄來輔助開閉，且機(jī)械式密封門設(shè)置有壓力感應(yīng)裝置，若門未關(guān)緊無法加壓，壓力非常壓時無法開門。

34.所述抽氣機(jī)構(gòu)2包括真空泵21和緩沖罐22，所述真空泵21和所述緩沖罐22安裝于所述箱體1內(nèi)部，所述真空泵21依次與所述緩沖罐22和處理室11內(nèi)部管路連接；當(dāng)需要對箱體內(nèi)抽真空時，真空泵工作在緩沖罐的穩(wěn)流作用下對處理室制造真空環(huán)境。

日本NOP液壓馬達(dá)ORB-G-050

日本NOP液壓馬達(dá)ORB-G-070

日本NOP液壓馬達(dá)ORB-G-100

日本NOP液壓馬達(dá)ORB-G-120

日本NOP液壓馬達(dá)ORB-G-130

日本NOP液壓馬達(dá)ORB-G-160

日本NOP液壓馬達(dá)ORB-G-170

日本NOP液壓馬達(dá)ORB-G-190

日本NOP液壓馬達(dá)ORB-G-205

日本NOP液壓馬達(dá)ORB-G-240

日本NOP液壓馬達(dá)ORB-G-280

日本NOP液壓馬達(dá)ORB-G-310

日本NOP液壓馬達(dá)ORB-G-380

日本NOP液壓馬達(dá)ORB-G-410

高粘度NOP油泵TOP-GPL-150VB

高粘度NOP油泵TOP-GPL-200VB

高粘度NOP油泵TOP-GPL-250VB

NOP油泵TOP-N320H中流量泵單體

NOP油泵TOP-N330H中流量泵單體

NOP油泵TOP-N340H中流量泵單體

NOP油泵TOP-N350H中流量泵單體

中流量通用型NOP油泵TOP-N320FAM(無溢流閥)

中流量通用型NOP油泵TOP-N330FAMVB（有溢流閥）

中流量通用型NOP油泵TOP-N340FBM（無溢流閥）

日本NOP小流量雙向擺線齒輪泵TOP-1RA-100

日本NOP小流量雙向擺線齒輪泵TOP-1RA-200

日本NOP小流量雙向擺線齒輪泵TOP-1RA-300

日本NOP齒輪泵TOP-2RA-4C

日本NOP齒輪泵TOP-2RA-8C

日本NOP齒輪泵TOP-2RA-12C

.所述加壓充氣機(jī)構(gòu)3包括空壓機(jī)31、氮氣機(jī)(圖中未示出)和壓力調(diào)節(jié)閥(圖中未示出)，所述空壓機(jī)31安裝于所述箱體1內(nèi)部，所述氮氣機(jī)設(shè)置于所述箱體1一側(cè)，所述空壓機(jī)31的進(jìn)氣口連接有電控三通閥，所述電控三通閥的一個通口與所述氮氣機(jī)管路連接，另一個通口與所述外接環(huán)境相連通，所述壓力調(diào)節(jié)閥一端與所述空壓機(jī)31的出氣口管路連接，另一端與所述處理室11內(nèi)部相連通；空壓機(jī)用于對箱體內(nèi)部加壓，當(dāng)空壓機(jī)工作時通過電控三通閥將空氣或者氮氣吸入并吹入箱體內(nèi)部，通過壓力調(diào)節(jié)閥對壓力值進(jìn)行調(diào)整。